一、基础光学参数测量仪器 - 频率/波长/功率

1. 光学显微镜
   • 用途：观察微小物体的显微图像，用于材料科学、生物学等领域。
   • 特点：高放大倍数和分辨率，可清晰显示微观结构。
2. 光谱分析仪
   • 用途：测量发光体的辐射光谱，分析物质成分和结构。
   • 特点：关注波长范围（如600nm-1750nm）、精度（±20pm）和分辨率（RBW带宽0.03-1nm）。
3. 光功率计
   • 用途：测量光功率，广泛应用于光纤通信、光电子器件测试。
   • 特点：覆盖宽波长范围（450nm-1800nm），具备高灵敏度和多通道测试能力。
4. 可调谐激光源
   • 用途：提供波长可调的激光，用于光学测量和校准。
   • 特点：支持高动态范围输出，具有高波长精度和快速扫描能力（如80nm/s）。
5. 多波长计
   • 用途：测量输入信号的波长和功率，可区分多达1000个离散波长。
   • 特点：高精度，适用于复杂光信号分析。

二、几何尺寸与形貌测量仪器

1. 干涉仪
   • 用途：利用光的干涉现象测量微小距离、角度或表面平整度。
   • 类型：迈克尔逊干涉仪、法布里-珀罗干涉仪等。
   • 特点：高精度（纳米级），常用于光学精密测量。
2. 激光测径仪
   • 用途：以激光为光源，测量物体外形尺寸。
   • 特点：非接触测量，适用于工业在线检测。
3. 工具显微镜
   • 用途：按平面直角坐标和极坐标测量零件尺寸。
   • 类型：小型、大型、万能工具显微镜等。
   • 特点：高精度，可配备多种测量附件。
4. 3D表面轮廓仪
   • 用途：测量物体表面三维形貌。
   • 特点：采用白光照明，结合CCD摄像机采集相位变化，实现非接触式测量。

三、光学性能测量仪器

1. 椭偏仪
   • 用途：分析薄膜厚度或材料光学性质（如折射率、消光系数）。
   • 特点：非破坏性测量，广泛应用于半导体制造和微电子学。
2. 偏振分析仪和控制器
   • 用途：分析光信号偏振特性，调整光信号偏振状态。
   • 特点：实时测量偏振态，支持快速转换和校准。
3. 光度计
   • 用途：测量光强或光源亮度（如照度计、亮度计）。
   • 特点：高灵敏度，适用于低光环境测量。

四、特殊应用光学测量仪器

1. 光学相干断层扫描仪（OCT）
   • 用途：利用低相干光干涉原理，进行医学视网膜成像或材料无损检测。
   • 特点：非侵入式，高分辨率。
2. 激光雷达（LiDAR）
   • 用途：利用激光脉冲测量距离，应用于地形测绘、自动驾驶。
   • 特点：高精度，可实时获取三维空间信息。
3. 光子相关光谱仪
   • 用途：通过散射光分析纳米颗粒尺寸（动态光散射技术）。
   • 特点：非接触式，适用于微小颗粒测量。

五、工业与医学检测专用仪器

1. 投影光刻机
   • 用途：利用紫外光在半导体晶圆上刻蚀微纳结构。
   • 特点：高精度，是芯片制造的核心设备。
2. 内窥镜
   • 用途：通过光纤或透镜系统观察人体内部或工业设备内部结构。
   • 特点：柔性或刚性设计，适应不同检测场景。
3. 自准直仪
   • 用途：测量小角度或直线度，常用于机床导轨校准。
   • 类型：光学自准直仪、光电自准直仪、数字式自准直仪。
   • 特点：高精度，操作简便。