低温真空探针台是一种用于在低温或真空环境下进行电学性能测试的精密仪器，其保养和维护对于确保设备的稳定运行和延长使用寿命至关重要。

一、日常清洁与检查

1、使用后应立即清洁探针台，尤其是探针、接口和连接器，避免灰尘和杂质影响精度。

2、检查探针台的接地是否良好，确保无松动。

3、检查探针台风扇是否正常运转，避免异响。

4、每天记录探针台的真空值，正常压力值应在-50KPA左右，若数值异常需检查真空泵。

二、定期深度清洁与保养

1、清洁探针台的台盘表面、镜头和机械手臂等与晶圆接触的部件，防止灰尘积累。

2、对各轴的丝杠和导轨进行润滑，确保机械部件的正常运转。

3、定期检查真空泵的油位，若油面低于2/3或油质变黑，需及时更换。

4、每年至少进行一次深度保养，包括清洗冷凝器、更换干燥剂、检查密封圈等。

三、避免碰撞与正确运输

1、在安装、操作和运输探针台时，应避免碰撞，防止机械部件损坏。

2、运输时应拔掉电源线，并使用专门的包装箱，避免接触任何运动部件。

3、长时间不使用时，应将探针台放置在干燥、通风、阴凉处，避免阳光直射和潮湿。

四、定期检查与维护

1、检查探针台的真空密封性，确保无泄漏。

2、检查探针磨损情况，及时更换磨损的探针。

3、检查探针台与真空泵之间的接口是否良好，确保腔体的真空性。

4、检查压缩机与循环水冷机之间的水管接头是否漏水，必要时更换。

五、环境控制

1、探针台应放置在稳定可靠的台面上，避免高温、潮湿、震动和阳光直射。

2、保持室内湿度在40%到85%之间，若湿度低于30%，应使用湿度控制器维持在50%～60%。

3、使用时门窗应尽量关闭，以减少外界干扰。