在皮秒深紫外激光器的开发过程中，不同阶段使用的工具软件及其对应的输出文件如下：

一、设计阶段

1. 工具软件：

   • Zemax OpticStudio：用于光学系统的初步设计和仿真，包括光线追迹、像差分析、优化设计等。
   • MATLAB：用于数值计算和数据分析，支持定制化设计，如光信号传播路径模拟、像差曲线绘制等。
   • SolidWorks/AutoCAD：用于光学元件与机械结构的协同设计，确保装配可行性，如镜头与镜筒的间隙配合。

2. 输出文件：

   • 光学设计文件：如.ZMX格式文件，包含光学元件参数、系统布局、像差分析结果等。
   • 数值计算文件：如.M格式文件，包含计算代码、模拟结果、数据分析报告等。
   • 机械设计文件：如.DWG或.SLDPRT格式文件，包含光学元件的三维模型、装配图、工程图等。

二、仿真阶段

1. 工具软件：

   • FRED光机模拟设计软件：支持几何光学描述的系统分析，包括照明系统、导光管、投影系统等。
   • VirtualLab Fusion：基于物理光学的仿真软件，支持衍射、干涉、偏振等效应的模拟。
   • Comsol Multiphysics：多物理场仿真软件，可用于光学-热力学耦合分析激光器性能。

2. 输出文件：

   • 仿真分析文件：如.FRD或.VLF格式文件，包含仿真模型、分析结果、可视化报告等。
   • 多物理场仿真文件：如.COMSOL格式文件，包含仿真模型、分析结果、可视化报告等。

三、制造阶段

1. 工具软件：

   • AutoCAD/SolidWorks：继续用于光学元件与机械结构的详细设计，确保制造精度。
   • CAM软件：如Mastercam、UG等，用于生成数控加工代码，指导光学元件的加工。

2. 输出文件：

   • 机械设计文件：更新后的.DWG或.SLDPRT格式文件，包含更详细的制造信息。
   • 数控加工代码文件：如.NC或.G代码文件，包含加工路径、切削参数等信息。

四、测试阶段

1. 工具软件：

   • Imtest：用于镜头成像指标测试，如分辨率、畸变、视场角测试等。
   • LabVIEW：用于测试系统的控制和数据采集，支持自定义测试流程。
   • OriginPro：用于数据分析与可视化，支持绘制测试曲线、生成测试报告等。

2. 输出文件：

   • 测试报告文件：如.PDF或.XLS格式文件，包含测试数据、分析结果、性能评估报告等。
   • 数据分析文件：如.OPJ格式文件（OriginPro项目文件），包含原始数据、处理后的数据、分析图表等。