明白 ✅
在 SECS/GEM 架构里，设备日志（Equipment Logging 主要涉及 事件日志（Event Log）、报警日志（Alarm Log）、配方操作日志（Recipe Log）、以及用户操作/命令日志。这些日志通过 SECS-II 消息由设备（Equipment）报告给 Host，也可以由 Host 主动请求。

我帮你系统整理一下：

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🔹 1. 日志的分类

1. 事件日志 (Event Log)

   • 用于记录设备状态变化、生产事件，例如 Lot Start, Wafer Start, Wafer End, Lot End 等。

   • 常用消息：

     • S6F11 (Event Report)：设备主动发送事件
     • S1F3/S1F4：状态变量查询（Host 定期取状态）

2. 报警日志 (Alarm Log)

   • 设备报警触发/解除时上报，便于 Host 监控。

   • 常用消息：

     • S5F1 (Alarm Report Send) → Host
     • S5F2 (Alarm Report Acknowledge) ← Host
     • S5F5 (List Alarm Request) → 设备
     • S5F6 (List Alarm Data) ← 设备

3. 配方操作日志 (Recipe Operation Log)

   • 记录 配方下载、上传、选择、删除等操作。

   • 常见相关消息：

     • S7F3/S7F4：配方下载
     • S7F5/S7F6：配方上传
     • S2F41/S2F42：配方选择（PP-SELECT）
     • S7F23/S7F24：配方删除

   • 通常会结合 S6F11 Event Report 触发“谁在什么时候做了什么配方操作”的日志。

4. 用户操作/命令日志 (Operator/Command Log)

   • 记录本地操作员或 Host 发送的命令，例如：

     • S2F41 (Host Command Send)：Host 请求
     • S2F42 (Host Command Acknowledge)：设备响应

   • 日志会包含 时间戳、操作人ID、命令、执行结果。

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🔹 2. 日志的典型内容

一个日志条目通常包含：

• 时间戳（Timestamp, T8 格式）
• 事件/报警/操作类型
• 相关参数（如 Recipe 名称、Alarm Code、Lot ID、Wafer ID 等）
• 结果/状态（成功 / 失败 / ACK 码）
• 触发来源（Host / Local Operator / Equipment 自动）

示例（配方下载日志）：

[2025-09-05 16:00:01] Host → Equipment : S7F3 Send Recipe RCP01 (Size=12KB)
[2025-09-05 16:00:02] Equipment → Host : S7F4 Ack=0 (OK)

示例（报警日志）：

[2025-09-05 16:05:22] Equipment → Host : S5F1 Alarm Occurred (ALID=201, Text="Vacuum Low")
[2025-09-05 16:05:24] Equipment → Host : S5F1 Alarm Cleared (ALID=201)

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🔹 3. Host 对日志的操作方式

• 实时接收：通过 S6F11 事件报告、S5F1 报警报告，Host 实时写入日志系统。
• 定期采集：Host 使用 S1F3/S1F23 请求设备状态或采集计数器（例如 OEE 数据）。
• 历史回溯：有些设备支持通过专用命令获取历史日志（非 SEMI 标准，通常是厂商扩展）。

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🔹 4. 日志应用场景

• 生产追溯：配方选择、工艺执行、Lot/Wafer 流转
• 异常追踪：报警发生与清除
• 质量保证：配方版本与执行情况记录
• 合规性：部分半导体工厂要求完整的日志存档

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要不要我帮你做一张 “设备日志类型 → SECS-II 消息对照表”（像你之前要的配方管理那种对照表），这样查起来更直观？